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单工位喷淋清洗机
属于清洗设备技术领域，为解决现有的喷淋清洗机工作效率低的问题而设计。本实用新型提供的单工位喷淋清洗机包括底座、位于所述底座上方的上料箱、设于所述上料箱一侧的喷淋清洗装置和储液槽、用于夹紧待清洗的罐体的机械手、用于驱动所述机械手的驱动装置以及控制系统，其中，所述储液槽内设有撇油机构，顶部安装有重力油水分离装置，侧壁可活动的连接有集油盒。本实用新型的单工位喷淋清洗机工作、操作和维修方便。
此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越先进，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。
通过式清洗机的应用范围在逐渐地扩大，应用于各行各业，1、温度可调控，对于精密仪器而言，几乎每一个的熔点以及易损点都是不同的，因此的清洗机应具备温度可调控功能。一般情况下其温度控制器可调整吹风温度，这种吹风温度可调节范围一般都在从0-90°，供消费者自由选择。2、速度可调节，对于仪器的清洗，应具备速度调节功能，以适应消费者们的需求，以及制品的清洁要求。
通过式喷淋清洗机：1.批量化清洗，工艺标准固定，清洗一致效果好。2.不锈钢高压喷头合理分布各个角度，洗净无死角。3.清洗速度变频可调，根据需要可快可慢。1.根据用户需要改进工艺流程，提供艺实验，合理化工艺流程。2.多种控制方式满足不同用户需要，普通开关控制，PLC触摸屏等方式。3.按客户工件，数量，大小，尺寸非标定制不同规格。1.设备设计合理，真材实材质量稳定。2.维护操作简单，公司终身提供技术支持。3.快速完完善的售后服务，后顾无忧。
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